流化床反應(yīng)爐法是美國聯(lián)合碳化合物公司早年研發(fā)的多晶硅制名備工藝技術(shù)。該方法以sicl4、H2、 HCI和工業(yè)硅為原料，在高溫高壓流化床內(nèi)(沸騰床)生成SiH2Cl2,再將SiHCL3,進(jìn)一步歧化加氫反應(yīng)生成SiH2CL2繼而生成硅烷氣。制得的硅烷氣通人加有小顆粒硅粉的流化床反應(yīng)爐內(nèi)進(jìn)行連續(xù)熱分解反應(yīng)，生成粒狀多晶硅產(chǎn)品。因?yàn)樵诹骰卜磻?yīng)爐內(nèi)參與反應(yīng)的硅表面積大，所以該方法生產(chǎn)效率高、電耗低、成本低。該方法的缺點(diǎn)是安全性差，存在危險(xiǎn)性，另外產(chǎn)品的純度不高,不過基本能滿足太陽電池生產(chǎn)的要求。因此，該方法比較適合大規(guī)模生產(chǎn)廉價(jià)太陽能級(jí)多晶硅。

　　目前，采用該方法生產(chǎn)顆粒狀多晶硅的公司包括美國MEMC公司、挪威可再生能源公司( REC)、德國威克公司( Wacker)等。特別是REC公司，它以硅烷氣為原料，利用流化床反應(yīng)器用閉環(huán)綠色工藝制備顆粒狀多晶硅，純度甚至接近電子級(jí)硅，而且基本不產(chǎn)生副產(chǎn)品和廢棄物，這一特有zhuanli技術(shù)使得REC在全球太陽能行業(yè)中處于獨(dú)無的地位。

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