專注新能源領(lǐng)域11年，迪晟能源通過(guò)創(chuàng)新技術(shù)、優(yōu)化管理不斷提高產(chǎn)品性能及服務(wù)品質(zhì)，為客戶的投資盈利提供保障。無(wú)論在國(guó)內(nèi)還是海外市場(chǎng)，迪晟能源始終主張通過(guò)高效優(yōu)質(zhì)的逆變器產(chǎn)品給創(chuàng)造經(jīng)濟(jì)效益和環(huán)境效益，助力綠色生產(chǎn)、生活方式在全球范圍的早日實(shí)現(xiàn)。

　　研究了激光摻雜選擇性發(fā)射極匹配的擴(kuò)散工藝，通過(guò)調(diào)整不同的工藝參數(shù)，達(dá)到相同的高方阻，比較了不同方法獲得的高方阻的均勻性，得到了在105Ω/□左右的高方阻仍能保持較好均勻性的擴(kuò)散工藝。通過(guò)調(diào)整激光功率形成不同的重?fù)诫s區(qū)方塊電阻，研究了不同的重?fù)诫s區(qū)方塊電阻對(duì)電池主要電性能參數(shù)的影響，分析了變化原因。后比較了激光摻雜選擇性發(fā)射極太陽(yáng)電池和傳統(tǒng)太陽(yáng)電池的電性能及外量子效率。工藝優(yōu)化后，激光摻雜選擇性發(fā)射極太陽(yáng)電池的轉(zhuǎn)換效率相比傳統(tǒng)太陽(yáng)電池有0.24%的提升。

　　提高太陽(yáng)能電池板的光電轉(zhuǎn)換效率是提高行業(yè)競(jìng)爭(zhēng)力的重要途徑。發(fā)射極摻雜濃度對(duì)太陽(yáng)電池轉(zhuǎn)換效率的影響是雙重的，采用高濃度的摻雜，可以減小硅片和電極之間的接觸電阻，降低電池的串聯(lián)電阻，但是高的摻雜濃度會(huì)導(dǎo)致載流子復(fù)合變大，少子壽命降低，影響電池的開路電壓和短路電流。采用低濃度的摻雜，可以降低表面復(fù)合，提高少子壽命，但是必然會(huì)導(dǎo)致接觸電阻的增大，影響電池的串聯(lián)。選擇性發(fā)射極太陽(yáng)電池的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)可以很好地解決這一矛盾。選擇性發(fā)射極(selectiveemitter,SE)太陽(yáng)電池，即在金屬柵線與硅片接觸部位及其附近進(jìn)行高濃度摻雜，而在電極以外的區(qū)域進(jìn)行低濃度摻雜。這樣既降低了硅片和電極之間的接觸電阻，又降低了表面的復(fù)合，提高了少子壽命。這種結(jié)構(gòu)的電池具有以下3點(diǎn)明顯的優(yōu)點(diǎn)：

　　(1)降低串聯(lián)電阻，提高填充因子;

　　(2)減少載流子復(fù)合，提高表面鈍化效果;

　　(3)增強(qiáng)電池短波光譜響應(yīng)，提高短路電流和開路電壓。

　　目前選擇性發(fā)射極的主要實(shí)現(xiàn)工藝有氧化物掩膜法、絲網(wǎng)印刷硅墨水法、離子注入法和激光摻雜法等，其中激光PSG摻雜法由于其工藝過(guò)程簡(jiǎn)單，從太陽(yáng)電池常規(guī)產(chǎn)線升級(jí)成激光摻雜選擇性發(fā)射極太陽(yáng)電池生產(chǎn)線，工藝上只需增加激光摻雜一個(gè)步驟，從設(shè)備上來(lái)說(shuō)，只需增加摻雜用激光設(shè)備，與常規(guī)產(chǎn)線的工藝及設(shè)備兼容性很高，是行業(yè)研究的熱點(diǎn)。激光PSG摻雜法是采用擴(kuò)散時(shí)產(chǎn)生的磷硅玻璃層作為摻雜源進(jìn)行激光掃描，形成重?fù)诫s區(qū)。目前雖然對(duì)激光摻雜選擇性發(fā)射極太陽(yáng)電池的理論研究和實(shí)驗(yàn)的報(bào)道很多，但是在實(shí)際的大規(guī)模生產(chǎn)中，仍然存在著擴(kuò)散高方阻的均勻性、輕重?fù)诫s區(qū)方塊電阻匹配和印刷正電極的精確對(duì)位等問(wèn)題。

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