深圳太陽能板廠家-深圳是迪晟能源技術(shù)有限公司，研究了激光摻雜選擇性發(fā)射極匹配的擴散工藝，通過調(diào)整不同的工藝參數(shù)，達到相同的高方阻，比較了不同方法獲得的高方阻的均勻性，得到了在105Ω/□左右的高方阻仍能保持較好均勻性的擴散工藝。通過調(diào)整激光功率形成不同的重摻雜區(qū)方塊電阻，研究了不同的重摻雜區(qū)方塊電阻對電池主要電性能參數(shù)的影響，分析了變化原因。后比較了激光摻雜選擇性發(fā)射極太陽電池和傳統(tǒng)太陽電池的電性能及外量子效率。工藝優(yōu)化后，激光摻雜選擇性發(fā)射極太陽電池的轉(zhuǎn)換效率相比傳統(tǒng)太陽電池有0.24%的提升。

　　提高太陽電池的光電轉(zhuǎn)換效率是提高行業(yè)競爭力的重要途徑。發(fā)射極摻雜濃度對太陽電池轉(zhuǎn)換效率的影響是雙重的，采用高濃度的摻雜，可以減小硅片和電極之間的接觸電阻，降低電池的串聯(lián)電阻，但是高的摻雜濃度會導致載流子復合變大，少子壽命降低，影響電池的開路電壓和短路電流。采用低濃度的摻雜，可以降低表面復合，提高少子壽命，但是必然會導致接觸電阻的增大，影響電池的串聯(lián)。選擇性發(fā)射極太陽電池的結(jié)構(gòu)設計可以很好地解決這一矛盾。選擇性發(fā)射極太陽電池，即在金屬柵線與硅片接觸部位及其附近進行高濃度摻雜，而在電極以外的區(qū)域進行低濃度摻雜。這樣既降低了硅片和電極之間的接觸電阻，又降低了表面的復合，提高了少子壽命。這種結(jié)構(gòu)的電池具有以下3點明顯的優(yōu)點：

　　(1)降低串聯(lián)電阻，提高填充因子;

　　(2)減少載流子復合，提高表面鈍化效果;

　　(3)增強電池短波光譜響應，提高短路電流和開路電壓。

　　目前選擇性發(fā)射極的主要實現(xiàn)工藝有氧化物掩膜法、絲網(wǎng)印刷硅墨水法、離子注入法和激光摻雜法等，其中激光PSG摻雜法由于其工藝過程簡單，從圖1可以看出從太陽電池常規(guī)產(chǎn)線升級成激光摻雜選擇性發(fā)射極太陽電池生產(chǎn)線，工藝上只需增加激光摻雜一個步驟，從設備上來說，只需增加摻雜用激光設備，與常規(guī)產(chǎn)線的工藝及設備兼容性很高，是行業(yè)研究的熱點。激光PSG摻雜法是采用擴散時產(chǎn)生的磷硅玻璃層作為摻雜源進行激光掃描，形成重摻雜區(qū)。目前雖然對激光摻雜選擇性發(fā)射極太陽電池的理論研究和實驗的報道很多，但是在實際的大規(guī)模生產(chǎn)中，仍然存在著擴散高方阻的均勻性、輕重摻雜區(qū)方塊電阻匹配和印刷正電極的精確對位等問題。

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